氦質譜檢漏儀維修機械泵故障及處理。

1.機械泵不動。

檢查項目包括：氦質譜泄漏檢測器電源電壓是否正常，開關是否打開，繞組是否斷路或接地，電機是否過熱（泵冷卻后是否可啟動）。

2.機械泵聲音異常。

檢查油位是否合適，油質是否變質，油溫是否變質。

氦質譜檢漏儀分子泵故障及處理。

1.TMP在儀器界面上顯示0，即分子泵不工作。

可能是前壓（分子泵啟動壓力為200Pa）可能導致分子泵無法啟動。檢查壓力過高的項目包括：真空管是否有問題，分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟，機械泵是否旋轉，系統是否泄漏。分子泵的葉片或轉子也可能損壞。您可以用工具撥動葉片，以確定葉片是否可以旋轉。

2.分子泵加速指示燈不亮。

電路板上的保險絲燒壞，更換保險絲或檢查是否有短路。

3.分子泵故障燈亮。

檢查電路板設置開關是否在R位置，此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常，氦質譜泄漏檢測器分子泵的電源可能出現故障。

氦質譜檢漏儀質譜室故障及處理。

1.燈絲不能正常啟動。在確認機械泵。分子泵處于正常工作狀態后，如果燈絲仍不能發射離子流，則需要更換離子源。如果燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座和接線柱是否開路。如果開路，需要更換燈絲。如果不開路，檢查接線柱是否與其他接頭連接，以消除短路。

2.底部信號處于混亂的波動狀態，尺寸遠遠超過氦質譜泄漏檢測器故障本身的底部噪聲，需要考慮放大器是否故障。一般用戶無法解決質譜室的故障，只需定位故障并移交維修ZX。

氦質譜檢漏儀檢測開始時出現故障。

1.檢漏鍵無效(綠色指示燈亮)

檢查燈絲是否啟動。若燈絲未啟動或斷開，按檢漏鍵無反應。

2.檢漏鍵無效(指示燈不亮)

I/O短接插頭未插入氦質譜泄漏檢測器故障后面的插座。如果I/O短接插頭未插入儀器后面的插座，氦質譜泄漏檢測器將接受I/O口輸入信號遙控信號，檢漏鍵無效。

氦質譜檢漏儀自動校準結束時的故障。

自動校準失敗（燈絲亮）紅色校準燈亮。首先，檢查自動校準設置，開關S1是否處于OFF位置，設置的泄漏值是否與標準泄漏值一致。溫度傳感器是否連接；二是檢查靈敏度，清潔質譜室（如果外部校準泄漏檢查顯示值與實際值一致，也可使用氦質譜泄漏檢查儀）。

氦質譜檢漏儀檢漏故障。

1.檢漏口壓力不轉換為細檢方式。

2.靈敏度低。檢查三極規測量的壓力，等待質譜室壓力。

3.氦的底部太高了。檢查機械泵油是否失效（泵油長期變質會吸收更多氦，導致氦污染），檢查儀器系統是否泄漏，真空管道是否污染，三極規壓力是否達到10-6mpa，離子源是否污染。此外，還應注意環境污染問題。如果有多個氦質譜泄漏檢測器，氦的使用量大，通風不良，導致氦擴散緩慢，也會導致氦污染。解決方案是在泄漏檢測出口的排氣閥出口（通常通過大氣）安裝一個容量為幾升的氣瓶，與低壓氦管連接。這大大減少了環境氦污染。

4.工具設計不合理，導致泄漏檢測失敗。初步檢查工作正常，工作幾次后，抽樣速度大大減慢，泄漏檢測失敗；加上氦質譜泄漏檢測器不泄漏，工作正常。這是由于工具設計不合理造成的，如工具結構不合理、內表面粗糙、氦殘留過多；或密封設計不合理（由于工具設計師不熟悉專業真空設計）。

5.操作不合理導致故障。例如，在工作中，有一個大泄漏工件，由于操作人員判斷錯誤，不認為工件泄漏，并檢查工具的連接或氦質譜泄漏檢測器，多次檢查工件泄漏。所以你會發現所有的工件都只是。原因是大泄漏工件經過多次泄漏檢測，大量氦進入質譜室，造成質譜室污染。解決辦法是清潔質譜室，反復吸氣和排氣。